镇江矿石SEM检测、全成分化验

SEM/EDX（形貌观察、成分分析）和扫描电镜（SEM）可以直接利用样品表面的材料性质进行显微成像。EDX是通过分析样品发出的元素特征X射线的波长和强度来实现的。根据元素特征X射线的不同波长测定样品中的元素。样品中元素的含量可以通过比较不同元素的谱线强度来确定。EDX通常与SEM相结合来分析样品的微观成分。

　　适用范围：军用、航空航天、半导体、先进材料等

　　测试内容：

　　1.材料表面形貌分析，微区形貌观察。

　　2.材料的形状、尺寸、表面、横截面、粒度分布分析.

　　3.薄膜样品的表面形貌观察、薄膜粗糙度和厚度分析

　　4.纳米尺寸测量和标记

　　5.微区成分的定性和定量分析

　　EDX常与电子显微镜结合使用。它测量电子与样品相互作用产生的特征X射线的波长和强度，从而定性或定量分析微区所含元素[24]。每个元素都有一个对应于特定波长的特征X射线，该特征X射线不随入射电子的能量而改变。通过测量电子激发样品产生的特征X射线波长的类型，我们可以确定样品中元素的类型。元素的含量与元素产生的特征X射线强度成正比，可以确定元素的含量。

　　EDX可用于分析表面1~5μm的元素组成，检测灵敏度约为0.1%（原子摩尔分数，与元素类型有关）[25]。EDX能探测多种元素（4be~92U），特别是重元素。它能测量所有元素，分析效率高[26]。适用于生物样品和快离子导体样品。

　　EDX有三种基本的工作方式。第是定点分析，可以对样品表面选定的微区进行扫描；第二种是线扫描分析，可以对样品表面选定的直线进行定性和定量分析；第三种是表面扫描分析，可以得到某些元素质量分布的扫描图像。由于EDX通常是SEM或TEM的附件，用EDX进行元素分析的优点之一是直观操作。